NSK成功开发高性能精密定位平台

～已出展“SEMICON Japan 2015”～

日本精工株式会社（总部：东京都品川区，取缔役 代表执行役社长 内山俊弘，以下简称NSK)），已于12月16日（星期三）～12月18日（星期五）出展了在Tokyo Big Sight（东京都江东区有明）举办的“SEMICON Japan 2015”展会。

本次展会，NSK展出了新开发的高精度垂直轴平台，该产品可满足下一代半导体的制造装置要求。同时，也一并展出市场中广受好评的气浮导轨和真空环境下使用的定位平台。

开发背景

随着智能手机与平板电脑等终端电子零部件小型化、细微化、三维化的发展趋势，生产设备也在向高性能化方向发展，因此，市场对设备中使用的定位平台提出了高性能、高精度的要求。

迄今，NSK已成功开发出定位平台高性能化所需要的关键零部件。

1)“高速·静音&静音Ⅱ滚珠丝杠”、“高性能滚珠丝杠”、“带L1密封圈的滚珠丝杠”
2)NSK直线导轨TM“NH系列”“NS系列”
3)高性能标准轴承“NSK HPS”

高精度垂直轴平台的特点

1)垂直导向采用空气轴承，可达到±0.1μm以下的平直度重复精度*1
2)采用新开发的自重减轻结构，可实现驱动马达小型化（50%以下）
3)可达到与ISO规格中最高等级1级相当的清洁度*2
4)采用楔形结构，可实现垂直方向的高精度定位

*1： 0.1μm = 1/10000mm

*2：所谓ISO 等级1级是指每立方米中0.1μm的粒子数量小于10个

今后，NSK将针对各种需求不断提供相应的解决方案，并进一步对环保型产业机械领域的发展作出贡献。